純水是指既將水中易去除的強電介質(zhì)去除，又將水中難以除去的硅酸及二氧化碳等弱電解質(zhì)去除至一定程度的水。純水的含鹽量在1.0mg/L以下,電導率小于3μs/cm。超純水又稱高純水，是指將水中的導電介質(zhì)幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機物均去除至很低程度的水，。超純水的含鹽量在0. 1mg/L以下,電導率小于0. 1μs/cm。 純水和超純水除了對含鹽量或電導率有嚴格要求外，對水中各種金屬離子含量，有機物含量、微粒粒徑及數(shù)量和微生物數(shù)量也有嚴格指標限制。蒸餾水是將原水加熱汽化，再將蒸汽冷凝成的水稱為蒸餾水。一般蒸餾水電導率為10μs/cm左右，將一次蒸餾水再次蒸餾得到二次蒸餾水，多次蒸餾得到多次蒸餾水，電導率可降至很低達1.0μs/cm左右。